卓然天工自動化儀表（北京）有限公司 

壓力傳感器／變送器在人類現(xiàn)代生產(chǎn)生活實踐的方方面面有著枚不勝數(shù)的極為廣泛的應(yīng)用。從上天的航天航空飛行器，入地的隧道挖掘盾構(gòu)機，日常出行的汽車、輪船到居家生活中的冰箱、空調(diào)等等，壓力傳感器／變送器都起著不可或缺的重要作用。在不同的應(yīng)用中，壓力傳感器／變送器的的品種也是名目繁多，然而，若以其工作原理進行分類，則目前市場上常見的，具有商業(yè)化規(guī)模應(yīng)用的壓力傳感器／變送器大致可以分為； 

電容式：這一類壓力傳感器通常以一個彈性膜片與一個壓力腔室一起構(gòu)成一個可變電容。當彈性膜片在壓力的作用下產(chǎn)生形變時，電容器的電容量發(fā)生變化，通過測量電容量的變化，就可以得到作用在彈性膜片上的壓力大小。在實際生產(chǎn)中，用作彈性膜片的材料通常有金屬、陶瓷和硅半導(dǎo)體。 

共振式：振蕩器的共振頻率因作用其上的壓力大小不同而不同。通過振蕩器的共振頻率的變化測量作用在振蕩器上的壓力是這類壓力傳感器的工作原理。 

熱力式：氣體的熱傳導(dǎo)率隨氣體的密度的變化而變化，當氣體在壓力的作用下，其密度隨壓力大小變化而變化。熱力式壓力傳感器通過氣體的熱傳導(dǎo)率的變化測量作用在氣體上的壓力大小變化。 

壓阻式：壓力敏感材料的電阻率在壓力作用下產(chǎn)生變化，測得壓敏材料的電阻值的 變化即可檢測施加在壓敏材料上的壓力變化。常見的壓阻材料有單晶硅、多晶硅、薄 膜、金屬片等等。 

上述諸類壓力傳感器各自有著各自的長處與短處。就生產(chǎn)工藝的成熟程度而言，壓阻式壓力傳感器，尤其是基于單晶硅，運用微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)加工生產(chǎn)的壓阻式壓力傳感器以其高度標準化的生產(chǎn)工藝流程而在大規(guī)模的商業(yè)化生產(chǎn)中享有獨特的地位。此外，基于單晶硅的 MEMS 壓阻式壓力傳感器還以其對壓力變化的高靈敏性而能夠在寬廣的壓力變化范圍內(nèi)的線性響應(yīng)特性在諸如生物醫(yī)學(xué)、現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)過程和產(chǎn)品中獲得了極其廣泛的應(yīng)用。