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眾所周知,半導(dǎo)體技術(shù)具有較高的精密性。在半導(dǎo)體器件的制備工藝中, 制備工藝參數(shù)是決定器件性能的關(guān)鍵因素,因此要求對(duì)工藝參數(shù)做到精確控制。該行業(yè)工藝技術(shù)中的核心參數(shù)包括了工藝氣體、液體的壓力、溫度及流量。由于半導(dǎo)體制備工藝的特殊性,包括自動(dòng)化、智能化以及傳統(tǒng)的雙金屬溫度計(jì)在內(nèi)的各類熱工儀表在半導(dǎo)體工業(yè)中都有著極為重要且廣泛的應(yīng)用。卓然天工的各類熱工儀表,以不論精度等級(jí)的高低,均具有長(zhǎng)期穩(wěn)定性為基本要素的特點(diǎn)而與半導(dǎo)體工業(yè)一起見(jiàn)證了彼此間長(zhǎng)期、穩(wěn)定的雙贏合作。
應(yīng)用領(lǐng)域:
氣體傳輸、散裝氣體供應(yīng)系統(tǒng)、超高純供水、液態(tài)化學(xué)原料的供應(yīng)、液態(tài)氣體和液位測(cè)量等。
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